ВЗАМОДЕЙСТВИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ Ni И Cu НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНЫЕВЫХ ДАТЧИКОВ: https://doi.org/10.5281/zenodo.17243208 - Нормуратов , Кахрамон (International scientific and practical conference, 2025)
Определены проводимость и время жизни неравновесных носителей заряда примеси никеля в тензодатчиках из монокристаллического кремния. Установлен оптимальный режим протекания процесса диффузии. Показано, что генерация термодоноров подавляется взаимодействием примесей никеля и кислорода, вводимых при 500оС, и доказано это взаимодействие не влияет на образование высокотемпературных термодоноров, образующихся при 700°С.